[14p-A25-1~21] 15.1 バルク結晶成長

[14p-A25-10] TLZ法によるSiGe結晶育成中のメルト内対流効果

〇木下 恭一¹、荒井 康智²、稲富 裕光²、塚田 隆夫³ (1.宇宙フォーラム、2.宇宙機構、3.東北大大院工)

キーワード：SiGe、結晶成長、対流

JAXAで開発されたTraveling Liquidus Zone (略称TLZ) 法という新しい結晶成長方法は、均一組成のバルク混晶育成に有効な方法である。TLZ法は拡散を駆動力として結晶成長を行わせる方法であるため、メルト内の対流の影響を受けやすい。これまでに４回の宇宙実験を行い、地上実験と比較することにより対流が結晶成長に及ぼす影響を明らかにすることができたので報告する。