[14p-A25-1~21] 15.1 バルク結晶成長

[14p-A25-9] TLZ法によるSiGe結晶育成

〇荒井 康智¹、木下 恭一² (1.宇宙航空研究開発機構、2.日本宇宙フォーラム)

キーワード：シリコンゲルマニウム

SiGe合金系は、SiやGeにかわる素材として基板結晶のみならず遠赤外線用レンズ、放射線検出器素子としても期待されている。我々は、Traveling Liquidus Zone (略称TLZ) 法を利用して均一組成のバルクSiGe混晶（Φ10 mm～Φ30 mm）を育成しており、育成結晶の結晶性と物性測定の現状について報告する