[14p-A26-1~16] 6.2 Carbon-based thin films

[14p-A26-4] Growth and characterization of heavily phosphorus doped diamond thin films

〇Satoshi Koizumi¹, Takehiro Shimaoka¹ (1.NIMS)

Keywords:diamond, chemical vapor deposition, n-type doping

マイクロ波プラズマCVDによるリンドープn型ダイヤモンド薄膜成長において、低オフ角｛111｝ダイヤモンド表面で高いリン添加効率（ダイヤモンド中に取り込まれたリン濃度／気相中のリン濃度）が得られることがこれまでの研究から明らかになった。本研究では2度未満の低オフ角で平坦研磨された｛111｝Ibダイヤモンド下地表面に高濃度リンドープ薄膜を形成しその電気特性を評価した。