[14p-A26-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14p-A26-6] 高温アニールによるダイヤモンド単結晶の積層欠陥の消滅

〇桝谷 聡士¹、森林 朋也¹、角谷 均²、嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工、2.住友電工アドバンストマテリアル研究所)

キーワード：ダイヤモンド、X線トポグラフィー