[14p-A31-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-A31-1] 単結晶酸化物ナノワイヤのVLS結晶成長における低温化の理論設計指針

Zetao Zhu¹、長島 一樹¹、鈴木 将¹、金井 真樹¹、〇柳田 剛¹ (1.九大先導研)

キーワード：単結晶ナノワイヤ、VLS結晶成長、分子動力学法

液相を介して形成されるＶＬＳ結晶成長法は、薄膜成長では得ることが困難な極めて高品質な結晶性・純度を有する金属酸化物ナノ構造を可能とする。しかしながら、結晶成長温度が高いことがその適用範囲を限定していた。本発表では、金属酸化物のＶＬＳ結晶成長を低温化する新しい理論設計指針について理論的・実験的に検証した結果について報告する。