[14p-A32-1~16] 6.6 Probe Microscopy

[14p-A32-10] Simultaneous suppression of two thermal vibration modes of a micro-cantilever

〇Riki Kanegae¹, Yusuke Tsujiie¹, Hidekazu Imai², Yoshiyuki Kawamura^1,2 (1.Grad. Sch. of Fukuoka Inst. of Tech., 2.Fukuoka Inst. of Tech.)

Keywords:micro-cantilever, feedback cooling, thermal vibration

微小機械振動子は，熱により常に振動しておりこの熱雑音が，計測限界の一つの限界となりうる．本研究では，マイケルソン干渉計で，マイクロ片持ち梁の熱振動の一次振動モードと二次振動モードを同時に計測し，それらの信号の位相を微分器を用いて90°遅らせて梁にフィードバックすることで，熱振動の2モード同時制御を行った．また，一つの振動モードを抽出し減衰を行っても，他の振動モードには影響を及ぼさないことが分かった.