[14p-A32-1~16] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-A32-10] マイクロ片持ち梁熱振動の2モード同時制振

〇鐘ヶ江 力¹、辻家 祐介¹、今井 秀和²、河村 良行^1,2 (1.福岡工大院工、2.福岡工大工)

キーワード：マイクロ片持ち梁、フィードバック冷却、熱振動

微小機械振動子は，熱により常に振動しておりこの熱雑音が，計測限界の一つの限界となりうる．本研究では，マイケルソン干渉計で，マイクロ片持ち梁の熱振動の一次振動モードと二次振動モードを同時に計測し，それらの信号の位相を微分器を用いて90°遅らせて梁にフィードバックすることで，熱振動の2モード同時制御を行った．また，一つの振動モードを抽出し減衰を行っても，他の振動モードには影響を及ぼさないことが分かった.