[14p-A33-1~15] 機能性原子薄膜材料の新展開－成膜技術－

[14p-A33-15] おわりに -遷移金属ダイカルゴゲナイド原子層の成膜技術：現状と展望-

〇佐藤 信太郎¹ (1.富士通研)

キーワード：遷移金属ダイガルゴゲナイド、化学気相合成法、トランジスタ

遷移金属ダイカルゴゲナイド（TMDC)は、グラフェンと異なり組成によりバンドギャップを持ち、トランジスタや光学デバイス応用が期待されている。実用化には大面積かつ一様にTMDCを合成する技術が必要となるが、確立されているとは言い難い。本シンポジウムでは、国内第一線の研究者により最先端合成技術が紹介された。終わりにあたり、国内外の合成技術を簡単にレビューすると共に、課題や今後の方向性について議論する。