2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 機能性原子薄膜材料の新展開-成膜技術-

[14p-A33-1~15] 機能性原子薄膜材料の新展開-成膜技術-

2016年9月14日(水) 13:15 〜 18:15 A33 (301A)

安藤 淳(産総研)、吹留 博一(東北大)