[14p-A33-1~15] Trend of Functional Atomic Thin Film Research-Thin Film Growth-

[14p-A33-6] CVD Growth of TMDC Dependent on Substrate Surface

〇Kenjiro Hayashi¹ (1.Fujitsu Lab.)

Keywords:TMDC, CVD

サファイア基板上では成長したMoS₂が一部の方位に優先的に配向することが報告されている。このようなエピタキシャルな成長は、TMDCと各基板表面間の格子整合性に起因していると考えられるが、基板の面方位の依存性については調べられていない。当日は、TMDCの結晶成長と基板表面との相関について調べた最近の研究結果を紹介する。