[14p-A37-1~17] 6.4 Thin films and New materials

△ [14p-A37-10] Fabrication and characterization of spinel type Mg, Ti oxynitride epitaxial thin film

〇Satoshi Fujiwara¹, Jumpei Takahashi¹, Yasushi Hirose^1,2, Kei Shigematsu², Shoichiro Nakao², Tetsuya Hasegawa^1,2 (1.Univ. of Tokyo, 2.KAST)

Keywords:oxynitride, spinel type structure, pulsed laser deposition

スピネル型酸化物MgTi₂O₄​はカチオン置換による電気輸送特性の変化が報告されている一方、アニオン置換の効果については報告例がない。O²⁻の一部をN³⁻で置換した酸窒化物では、Tiイオンの価数変化と電気伝導を担うTiO₆八面体骨格への異種イオン導入により既知の酸化物とは異なる電気輸送特性の発現が期待される。本研究ではスピネル型構造を持つMg, Ti酸窒化物エピタキシャル薄膜を合成し、光学特性および電気輸送特性を評価したので報告する。