[14p-A37-1~17] 6.4 薄膜新材料

△ [14p-A37-10] スピネル型Mg, Ti酸窒化物エピタキシャル薄膜の合成と物性評価

〇藤原 聡士¹、高橋 純平¹、廣瀬 靖^1,2、重松 圭²、中尾 祥一郎²、長谷川 哲也^1,2 (1.東大院理、2.KAST)

キーワード：酸窒化物、スピネル型構造、パルスレーザー堆積法

スピネル型酸化物MgTi₂O₄​はカチオン置換による電気輸送特性の変化が報告されている一方、アニオン置換の効果については報告例がない。O²⁻の一部をN³⁻で置換した酸窒化物では、Tiイオンの価数変化と電気伝導を担うTiO₆八面体骨格への異種イオン導入により既知の酸化物とは異なる電気輸送特性の発現が期待される。本研究ではスピネル型構造を持つMg, Ti酸窒化物エピタキシャル薄膜を合成し、光学特性および電気輸送特性を評価したので報告する。