[14p-A37-1~17] 6.4 Thin films and New materials

△ [14p-A37-7] Preparation of V₂O₅-Bi₂O₃-GeO₂ glass thin film by pulsed laser deposition and optical / electrical characterization

〇Yuki Fujimoto¹, Shiori Takano¹, Satoshi Kaneko², Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Inst. of Tech., 2.Kanagawa Ind. Tech. Cent.)

Keywords:glass, Vanadium, thin film

酸化バナジウム(Ⅴ)は網目形成酸化物であり、それ自体でガラスを形成する。バナジウムはガラス中で複数の原子価状態で存在し、電子のホッピングにより電気伝導が生じる。V₂O₅系ガラスを薄膜化することでエレクトロニクスやエネルギーデバイスに応用可能となる。そこで本研究ではV₂O₅系ガラスをPLD法により薄膜化することを目的とし、その作製条件、組成比、積層パターンによる構造の変化および光学・電気特性への影響を評価した。