[14p-A37-1~17] 6.4 薄膜新材料

△ [14p-A37-7] PLD法によるV₂O₅-Bi₂O₃-GeO₂系ガラス薄膜の作製と光学・電気特性評価

〇藤元 勇希¹、高野 詩織¹、金子 智²、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技セ)

キーワード：ガラス、バナジウム、薄膜

酸化バナジウム(Ⅴ)は網目形成酸化物であり、それ自体でガラスを形成する。バナジウムはガラス中で複数の原子価状態で存在し、電子のホッピングにより電気伝導が生じる。V₂O₅系ガラスを薄膜化することでエレクトロニクスやエネルギーデバイスに応用可能となる。そこで本研究ではV₂O₅系ガラスをPLD法により薄膜化することを目的とし、その作製条件、組成比、積層パターンによる構造の変化および光学・電気特性への影響を評価した。