[14p-B12-1~18] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[14p-B12-13] Nanoscale thermal conduction in SiGe phononic crystals

〇Masahiro Nomura^1,2, Junki Nakagawa¹, Kentarou Sawano³ (1.IIS, Univ. of Tokyo, 2.PRESTO, JST, 3.Univ. of Tokyo City)

Keywords:phonon engineering, phononic crystal, thermoelectrics

熱フォノンの平均自由行程（MFP）は熱伝導率を決定する重要な要素であり、ナノ構造化を用いた効率的な熱伝導制御を行う際には、その材料のMFP スペクトルに基づいた構造設計を行う。我々は、熱電変換材料の高効率化に資するナノスケール熱伝導の物理を研究しており、Si フォノニック結晶（PnC）ナノ構造で研究を進めてきた[1,2]。本知見をSiGe に適用して熱電変換の高効率化を行うことを念頭に、アモルファスおよび多結晶SiGe フォノニック結晶ナノ構造を形成し、熱伝導率の構造依存性を測定したので、MFP との相関などを報告する。