[14p-B12-1~18] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[14p-B12-17] Fe₂VAl系熱電材料の人工超格子による熱伝導度制御

〇(PC)廣井 慧¹、竹内 恒博^1,2 (1.豊田工大工、2.JSTさきがけ)

キーワード：熱電材料、格子熱伝導度、人工超格子

本研究では、Fe₂VAl系熱電材料の熱伝導率低減による特性向上を目的として、RFスパッタ法によるFe₂VAl/Mo人工超格子膜の作成を試みた。成膜時の基板温度を600 °Cとすることで、各層のエピタキシャル成長が確認された。全膜厚を一定に保ちつつFe₂VAl層の分割数を増加させていくと、熱伝導度が有意に減少した。さらに、Fe₂VAl層の膜厚を40 nm以下としたとき、熱伝導度の増大が確認された。