The 77th JSAP Autumn Meeting, 2016

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Oral presentation

Joint Session M "Phonon Engineering" » Joint Session M "Phonon Engineering"

[14p-B12-1~18] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

Wed. Sep 14, 2016 1:30 PM - 6:15 PM B12 (Exhibition Hall)

Tsunehiro Takeuchi(Toyota Tech. Inst.), Takanobu Watanabe(Waseda Univ.), Takahiro Yamamoto(Tokyo Univ. of Sci.), Takao Mori(NIMS)

5:45 PM - 6:00 PM

[14p-B12-17] Controlling of thermal conductivity of Fe2VAl-based thermoelectric materials by making superlattice

〇(PC)Satoshi Hiroi1, Tsunehiro Takeuchi1,2 (1.Toyota Tech. Inst., 2.JST PRESTO)

Keywords:thermoelectric materials, lattice thermal conductivity, superlattice

本研究では、Fe2VAl系熱電材料の熱伝導率低減による特性向上を目的として、RFスパッタ法によるFe2VAl/Mo人工超格子膜の作成を試みた。成膜時の基板温度を600 °Cとすることで、各層のエピタキシャル成長が確認された。全膜厚を一定に保ちつつFe2VAl層の分割数を増加させていくと、熱伝導度が有意に減少した。さらに、Fe2VAl層の膜厚を40 nm以下としたとき、熱伝導度の増大が確認された。