[14p-B12-1~18] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [14p-B12-8] 多結晶およびエピタキシャルAlドープZnO(AZO)薄膜の熱伝導率

〇本多 夏穂¹、山下 雄一郎²、賈 軍軍¹、八木 貴志²、中村 新一¹、竹歳 尚之²、重里 有三¹ (1.青山学院大学、2.産総研)

キーワード：Alドープ酸化亜鉛、dcマグネトロンスパッタ法、熱伝導率

AlドープZnO(AZO)は高い可視光透過性と電気伝導率を有し、安価で供給が安定していることからIn₂O₃系透明導電膜の代替材料として注目されている。エレクトロニクスデバイスの製作には熱設計が不可欠であり、精緻な熱設計には熱物性データが必要である。本研究ではスパッタ法にて多結晶およびc軸配向したエピタキシャルAZO薄膜を作製し、熱伝導率の膜構造および電気特性との関係を明らかにすることを目的とした。