[14p-B2-1~19] 3.9 Terahertz technologies

△ [14p-B2-13] Time-Domain Thermoreflectance Characterization of Thermal Time Constant of GaAs Doubly Clamped MEMS Beam Structures for Terahertz Detection

〇Suguru Hosono¹, Ya Zhang¹, Jeremie Maire¹, Naomi Nagai¹, Akio Higo², Yoshiaki Nakano³, Masahiro Nomura^1,4, Kazuhiko Hirakawa^1,4 (1.IIS, Univ. of Tokyo, 2.WPI-AIMR, Tohoku Univ., 3.Univ. of Tokyo, 4.INQIE, Univ of Tokyo)

Keywords:terahertz detector, bolometer, MEMS resonator

我々はMEMS両持ち梁構造を用いた室温動作テラヘルツ（THz）ボロメータを提案している。MEMS両持ち梁構造の高いQ値を利用して、両持ち梁にTHz電磁波が入射した際の温度上昇を、梁の共振周波数の変化として高感度に読み取るものである。本発表では、サーモリフレクタンス法（TDTR法）により、MEMS梁構造ボロメータの動作速度を決定する値である熱時定数の長さ依存性について報告する。