[14p-B2-1~19] 3.9 テラヘルツ全般

△ [14p-B2-13] TDTR法を用いたテラヘルツ検出用GaAs MEMS両持ち梁構造の熱時定数の評価

〇細野 優¹、張 亜¹、メーア ジェレミー¹、長井 奈緒美¹、肥後 昭男²、中野 義昭³、野村 政宏^1,4、平川 一彦^1,4 (1.東大生研、2.東北大WPI-AIMR、3.東大院工、4.東大ナノ量子機構)

キーワード：テラヘルツ検出器、ボロメータ、MEMS発振器

我々はMEMS両持ち梁構造を用いた室温動作テラヘルツ（THz）ボロメータを提案している。MEMS両持ち梁構造の高いQ値を利用して、両持ち梁にTHz電磁波が入射した際の温度上昇を、梁の共振周波数の変化として高感度に読み取るものである。本発表では、サーモリフレクタンス法（TDTR法）により、MEMS梁構造ボロメータの動作速度を決定する値である熱時定数の長さ依存性について報告する。