[14p-B2-1~19] 3.9 テラヘルツ全般

[14p-B2-19] 波長920 nm近傍のゲート光で動作する光伝導アンテナ素子の作製

〇北田 貴弘¹、太田 寛人¹、盧 翔孟¹、熊谷 直人¹、井須 俊郎¹ (1.徳島大院理工)

キーワード：化合物半導体、光伝導アンテナ、コヒーレントテラヘルツ検出

半導体結合共振器から生じるテラヘルツ波のコヒーレント検出を目的として、波長920 nm近傍のゲート光で動作する光伝導アンテナ素子の試作をした。MBE法で作製した低温成長InGaAs多重量子井戸を使って、ダイポール型の光伝導アンテナ素子を試作した。その光伝導特性から、メサ加工を施すことで暗電流を著しく低減できること、GaAs基板内にゲート光が侵入しないような薄膜構造にする必要があることがわかった。