[14p-B4-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [14p-B4-2] 貼り合わせInGaAsP/Si ハイブリッド MOS型光変調器に関する検討

〇(D)韓 在勲^1,2,3、竹中 充^1,2、高木 信一^1,2 (1.東大院工、2.JST-CREST、3.学振特別研究員)

キーワード：InGaAsP/Si ハイブリッドMOS型光変調器、貼り合わせ法