[14p-B4-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [14p-B4-8] エバネッセント型ハイブリッドシリコン量子ドットレーザ

〇張 奉鎔^1,2、田辺 克明^2,3、加古 敏²、岩本 敏^1,2、土沢 泰⁴、西 英隆⁴、羽鳥 伸明⁵、野口 将高⁵、中村 隆宏⁵、武政 敬三⁶、菅原 充⁶、荒川 泰彦^1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子、3.京大工、4.NTT先端集積デバイス研、5.PETRA、6. QDレーザ)

キーワード：量子ドットレーザ、ハイブリッドシリコンレーザ、ウェハ融着

シリコン導波路と結合した化合物半導体ハイブリッドレーザは、低消費電力及び高速データ通信を実現する光集積回路の光源として有望なデバイスである。量子ドットは量子井戸より低い発振しきい値、高温動作安定性などの特徴を持つため、低消費電力の光源に適した材料である。今回、初めてのシリコン導波路とエバネッセント結合した量子ドットレーザの作製し、導波路からのレーザ光の観測及び100^oC以上での動作に成功したので報告する。