[14p-B6-1~12] 7.5 イオンビーム一般

[14p-B6-1] [7．ビーム応用　分科内招待講演] クラスターイオンビーム技術の新展開: 半導体からソフトマテリアルまで

〇松尾 二郎¹ (1.京大 QSEC)

キーワード：クラスター、表面、衝突

原子分子の集合体であるクラスターイオンは、多体衝突効果や低エネルギー効果など従来のイオンビームにない特徴を有しており、近年様々な分野で用いられている。クラスターイオンビームの特徴やその具体的な応用例を挙げ、クラスターイオンの固体表面での衝突現象に関する基礎的な原理から今度の発展性やその課題などについて言及する。