[14p-B6-1~12] 7.5 Ion beams

[14p-B6-11] Application of GCIB to Surface Activation Bonding

〇(M2)Tomoya Sasaki¹, Noriaki Toyoda¹, Isao Yamada¹ (1.Univ of Hyogo)

Keywords:GCIB, SAB

表面活性化接合のビームとして、超低エネルギーイオンが実現できるガスクラスターイオンビーム(GCIB)の応用を試みた。照射表面のXPS分析からGCIBを斜入射で照射することで、Cu表面の酸化膜を除去することができ、Cu同士の接合が可能であることを示した。今後、引張試験や接合メカニズムの検証、AFMによる表面形状評価を行う予定である。