[14p-B6-1~12] 7.5 イオンビーム一般

[14p-B6-4] 集束陽子線微細加工技術によるフレキシブル電子回路基板内部への光導波路構造の埋込形成

〇高橋 龍平¹、三浦 聡¹、猿谷 良太¹、川端 駿介¹、三浦 健太¹、加田 渉¹、江夏 昌志²、佐藤 隆博²、神谷 富裕²、花泉 修¹、Kumar Parajuli¹ (1.群馬大理工、2.量研機構高崎研)

キーワード：PBW、光導波路、ポリイミド