[14p-B7-1~17] IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

[14p-B7-16] AIC法によるSnドープ大粒径Ge(100)/絶縁膜の低温形成

〇佐々木 雅也¹、宮尾 正信¹、佐道 泰造¹ (1.九大院システム情報)

キーワード：GeSn