[14p-B7-1~17] IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

[14p-B7-6] フレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の熱プラズマジェット結晶化

〇稗田 竜己¹、新 良太¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：結晶化