[14p-B7-1~17] IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

[14p-B7-9] IV族半導体中の構造欠陥とその制御

〇米永 一郎¹ (1.東北大金研)

キーワード：半導体、欠陥

IV族系半導体結晶および薄膜中の点欠陥、転位等の構造欠陥に関する理解と制御の現状を概観する。