[14p-C31-1~13] 3.7 レーザープロセシング

△ [14p-C31-1] 液中レーザー溶融法によるシリコンサブミクロン球状粒子の生成

〇若月 雄哉¹、越崎 直人¹ (1.北大工)

キーワード：シリコン、サブミクロン球状粒子、液中レーザー溶融法

原料ナノ粒子を液体中に分散させ，これにパルスレーザーを照射することでさまざまな材料のサブミクロン球状粒子が作製可能であるが，シリコンの粒子生成に関する報告は限られている．シリコン粒子を溶融させるのに必要なフルーエンスを計算することで，より低いフルーエンスでの球状粒子生成の条件を検討した．そのときの計算値から最適な原料粒子径，照射波長を見積もり，従来よりも低いフルーエンスでの球状粒子生成に成功した．