[14p-C31-1~13] 3.7 レーザープロセシング

△ [14p-C31-11] 金薄膜へのフェムト秒レーザー照射による微細構造作製

〇高見 明裕¹、中島 康貴¹、寺川 光洋¹ (1.慶應大院理工)

キーワード：フェムト秒レーザー、レーザープロセシング、LIPSS

金は熱影響が顕著に生じるため、フェムト秒レーザー照射による金表面への表面微細周期構造の作製は困難であった。我々は、金薄膜へのフェムト秒レーザー照射により、周期微細構造が作製されることを見出した。可能性として、極めて薄い金属薄膜特有の電界強度分布の寄与が考えられる。本研究結果より、新規フォトニック／プラズモニックデバイス、二次元メタマテリアル等への応用が期待される。