[14p-C31-1~13] 3.7 レーザープロセシング

△ [14p-C31-12] 超短パルスレーザーの6ビーム干渉パターンを用いた金薄膜の加工

〇(M1)吉田 匡孝¹、大澤 一仁¹、中田 芳樹¹、宮永 憲明¹ (1.大阪大工)

キーワード：レーザープロセシング

フェムト秒レーザーの6ビーム干渉パターンを用いた金属薄膜加工の実証実験を行った。その結果、格子定数 [mm]で六角格子配列したナノ構造をシングルショットで作製することに成功した。膜厚およびフルエンスをパラメーターとし、ナノドロップやMHA(Metallic Hole Array)が形成される条件を明らかにした。本結果により、正方格子配列と異なるメタマテリアルの作製が可能となった。