[14p-C31-1~13] 3.7 レーザープロセシング

△ [14p-C31-13] 空間光位相変調器を用いたビーム強度分布の整形

〇大澤 一仁¹、吉田 匡孝¹、中田 芳樹¹、宮永 憲明¹、奈良崎 愛子²、東海林 竜也³、坪井 泰之³ (1.大阪大工、2.産総研、3.阪市大工)

キーワード：レーザープロセシング、空間光位相変調器

空間光位相変調と4f光学系を用いてフェムト秒レーザービーム強度分布の整形を行った。SLMにレーザーを入射し、位相グレーティングを用いて周期的な位相分布を与えた。4f光学系のフーリエ面で空間周波数が高い成分をカットする事で、出力面へ透過する0次光の振幅分布を制御し、トップフラットビームの形成に成功した。これにより、マルチショット加工を用いた大面積デバイスの作製が可能となった。