[14p-C31-1~13] 3.7 レーザープロセシング

△ [14p-C31-6] Al/ダイヤモンド単結晶界面におけるフェムト秒レーザ照射誘起改質

〇政井 勇輝¹、植木 智之¹、田中 康弘²、富田 卓朗¹、岡田 達也¹ (1.徳島大工、2.香川大工)

キーワード：フェムト秒レーザ、ダイヤモンド、周期構造

ダイヤモンド(Dia)単結晶上にアルミニウム(Al)薄膜を蒸着し，Al/Dia界面をDia側からフェムト秒レーザで照射した．照射ライン断面を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した．Dia表面に周期130nm程度の微細構造が形成した．微細周期構造の直上はアモルファス化していた．TEM/EELSにより，炭素原子分布を観察したところ，アモルファス領域内に炭素原子の拡散が認められた．