[14p-C31-1~13] 3.7 レーザープロセシング

△ [14p-C31-8] シリコン表面のフェムト秒レーザー励起プラズモンとアブレーション形状の変化の観測

〇(M2)萩谷 将人¹、宮地 悟代¹ (1.東京農工大)

キーワード：フェムト秒レーザープロセス、表面プラズモンポラリトン、シリコン

Si回折格子への単一のfsパルス照射によってSPPが励起されることを、反射率の入射角度依存性によって初めて観測することに成功した。本研究では、本手法の有効性を検証するため、フルーエンスを変えたfsパルスによって変化する反射率と表面形状の変化を測定した。その結果、フルーエンスの増加よってSPP波長が変化すること、SPP波長の変化に伴って近接場分布が変化しアブレーション形状が変化することがわかった。