[14p-D61-1~20] 11.4 Analog applications and their related technologies

[14p-D61-12] Fabrication of on-chip two-photon interferometer using waveguide-coupled SSPD I

〇Kentaro Waki^1,2, Taro Yamashita², Shin-ichiro Inoue^2,3, Shigehito Miki², Hirotaka Terai², Rikizo Ikuta¹, Takashi Yamamoto¹, Nobuyuki Imoto¹ (1.Osaka Univ., 2.NICT, 3.JST-PRESTO)

Keywords:waveguide-coupled SSPD, two-photon interference, directional coupler

近年，量子光学回路を基板上にワンチップに実装するモノリシック集積回路が注目されている．我々はこれまで高性能な導波路結合型SSPDの実現に向けて作製プロセスの確立を行い，従来型SSPDと同程度の超伝導特性及び内部効率を得た．そこで今回はモノリシック集積回路の実現に向けた次の段階として，導波路結合型SSPDによるオンチップ二光子干渉計の実現に向け，干渉計の設計及び作製を行ったので報告する．