[14p-D61-1~20] 11.4 アナログ応用および関連技術

[14p-D61-14] MgO+CaO混合バッファ層によるNbN超伝導極薄膜の高Tc化

〇川上 彰¹、牧瀬 圭正¹、鵜澤 佳徳¹ (1.情通機構)

キーワード：酸化カルシウム、NbN極薄膜、ホットエレクトロンボロメータ

超伝導ホットエレクトロンボロメータの高性能化を目指し、NaCl結晶構造を持つMgO及びCaO混合バッファ層を用いることで、4 nm程度の膜厚の窒化ニオブ薄膜の超伝導転移温度(Tc)の向上を試みた。同バッファ層(膜厚7.2 nm)上に成膜したNbN薄膜はTcが約0.7 K向上し、膜厚3 nmのNbN極薄膜においてTc=11.5 Kを示した。