2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[14p-D61-1~20] 11.4 アナログ応用および関連技術

2016年9月14日(水) 13:15 〜 19:00 D61 (万代島ビル6階D1)

紀和 利彦(岡山大)、三木 茂人(情通機構)、田井野 徹(埼玉大)

18:30 〜 18:45

[14p-D61-19] 3次元実装構造を有するSTJのための超伝導TSV作製方法

森田 浩平1、畠山 聡起1、成瀬 雅人1、明連 広昭1、青柳 昌宏2、田井野 徹1 (1.埼玉大、2.産総研)

キーワード:超伝導トンネル接合、貫通電極、3次元実装構造