[14p-D62-1~20] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[14p-D62-12] 中性粒子ビームエッチング技術によるシリコンナノピラー-SiGe_0.3複合膜の作製と熱伝導率の評価

〇菊池 亜紀応^2,4、八尾 章史⁴、毛利 勇⁴、小野 崇人²、寒川 誠二^1,3 (1.東北大流体研、2.東北大学院工、3.東北大学AIMR、4.セントラル硝子)

キーワード：シリコンナノピラー