[14p-D62-1~20] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[14p-D62-14] 急速熱酸化法によるSiO_xナノワイヤーの形成

〇富野 泰介¹、増田 翔¹、小塩 明¹、小海 文夫¹ (1.三重大院工)

キーワード：ナノワイヤー、酸化ケイ素、急速熱酸化法