[14p-D63-1~10] 11.2 Thin and thick superconducting films, coated conductors and film crystal growth

[14p-D63-4] Investigation of fabrication process for the high-quality NdBa₂Cu₃O_y film prepared by KOH flux method

〇Shuhei Funaki¹, Yugo Miyachi¹, Yasuhiro Kojima¹, Keisuke Soeda¹, Yasuji Yamada¹ (1.Shimane Univ.)

Keywords:Superconductor

これまで我々は溶融水酸化物法を用いることで，2軸配向したRE124及びRE123を500°C程度の低温下で成膜することに成功したが，RE123は成膜温度の低温化に伴いRE/Ba置換が促進され，T_cが低下した．本研究では，RE/Ba置換の少ないRE123膜を低温プロセスで作製することを目的とし，作製時の酸素分圧制御，またRE124からRE123への相変態熱処理を行った．