[14p-D63-1~10] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[14p-D63-4] KOHフラックス法を用いた高品質なNdBa₂Cu₃O_y膜の作製プロセスの検討

〇舩木 修平¹、宮地 優悟¹、児島 康大¹、添田 圭佑¹、山田 容士¹ (1.島根大総理工)

キーワード：超伝導体

これまで我々は溶融水酸化物法を用いることで，2軸配向したRE124及びRE123を500°C程度の低温下で成膜することに成功したが，RE123は成膜温度の低温化に伴いRE/Ba置換が促進され，T_cが低下した．本研究では，RE/Ba置換の少ないRE123膜を低温プロセスで作製することを目的とし，作製時の酸素分圧制御，またRE124からRE123への相変態熱処理を行った．