2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[14p-P10-1~25] 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

2016年9月14日(水) 13:30 〜 15:30 P10 (展示ホール)

13:30 〜 15:30

[14p-P10-12] M2O3(M=Al,Ga,In)のバンドギャップとバンドオフセットの第一原理計算

島田 和宏1、中尾 優斗1、藤枝 直輝1 (1.関東学院大理工)

キーワード:酸化ガリウム、第一原理計算、バンドギャップ

Al2O3、Ga2O3、In2O33つの酸化物について、それぞれの安定構造であるCorundum構造、Gallia構造、Bixbyite構造に結晶した状態で、バンドギャップとバンドオフセットの値を見積もるために密度汎関数理論に基づいた第一原理計算を行った。交換エネルギー汎関数はWu-Cohen型のものを用い、GGA-1/2法でp電子およびd電子の自己相互作用補正を行った。バンドオフセットは、分岐点エネルギーを基準にして算出した。バンドギャップの値は実験値とよく一致した。