[14p-P10-1~25] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[14p-P10-24] β-Ga₂O₃用ITOオーミック電極

〇大島 孝仁¹、若林 諒²、服部 真依²、橋口 明広¹、河野 直人¹、佐々木 公平^3,4、増井 建和^3,4、倉又 朗人^3,4、山腰 茂伸^3,4、吉松 公平²、大友 明²、大石 敏之¹、嘉数 誠¹ (1.佐賀大、2.東工大、3.タムラ製作所、4.ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：酸化ガリウム、オーミック電極、酸化インジウムスズ

ITOが高温熱処理にも耐えるβ-Ga₂O₃用オーミック電極になることを見いだしたので報告する.