[14p-P15-1~2] 7.2 電子ビーム応用

[14p-P15-1] 電子ビーム照射された絶縁体試料表面電位分布のワーキングディスタンスと印加バイアス依存性

〇(M2)東海 昌司¹、河本 拓也¹、小寺 正敏¹ (1.大工大)

キーワード：SEM、帯電、表面電位