[14p-P16-1~8] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [14p-P16-6] Fabrication of micro heater/channel device

〇(M1C)Kazuho Kai¹, Akira Kawai¹ (1.Nagaoka Univ. Tech.)

Keywords:device cooling, Micro heater, Micro water channel

近年，三次元積層集積回路における水チャネル冷却方法が必要とされており，またμ-TASの様なマイクロデバイスによるマイクロ領域の局所加熱が重要視されている．本研究では，その発展に寄与することを目的として，マイクロヒータとマイクロチャネルを組み合わせることで，より局所的な加熱が可能であり、断熱性のあるマイクロヒータ/チャネルデバイスを提案及び作製を行った。マイクロヒータ/チャネルデバイスの加熱実験およびマイクロ流体チャネルの断熱性を検討した結果について報告する．