[14p-P17-1~4] 7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術

[14p-P17-4] 変位拡大機構を用いた高速超音速分子線バルブ

〇横田 久美子¹、徐 世傑²、田川 雅人¹ (1.神戸大、2.メカノトランスフォーマ)

キーワード：高速超音速分子線バルブ