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[14p-P18-14] 人工脂質二分子膜形成のための微細孔を有する半導体シリコンチップの作製プロセスの改善
キーワード:脂質二分子膜、半導体シリコンチップ、半導体微細加工技術
人工的に再構成された脂質二分子膜は、イオンチャネルとなるタンパクの包埋によって高感度バイオセンサーとして機能させることができる。我々は先行研究において、数十ミクロンスケールの微細孔を有する半導体シリコンチップを作製したところ、機械的安定性に優れた脂質二分子膜の形成に成功した。本研究では、各プロセスの条件を精査・改善することによって、低かったチップの作製歩留まりを大幅に向上させることに成功した。