[14p-P21-1~27] 13.10 Compound solar cells

[14p-P21-13] Compositional homogeneity of CZTS film by PLD method

〇(M2)Masahiro Kotani¹, Yong-Gu Shim², Kazuki Wakita¹ (1.Chiba Inst. of Tech, 2.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:Pulse laser deposition, CZTS poly-crystal, solid state reaction

本研究ではPLD (Pulse laser deposition)法によりSLG(Soda lime grass)基板上に高品質CZTS薄膜を成膜するために使用する高品質CZTS多結晶ターゲットの段階から研究を行い，まず初めに，薄膜の組成比率を最適組成比に制御するための固相反応法によるCZTS多結晶の作製と評価を行った。その後，作製したCZTS多結晶を用いて、PLD法によるCZTS薄膜の作製と評価を行った。