[14p-P21-1~27] 13.10 化合物太陽電池

[14p-P21-13] PLD法で作製したCZTS薄膜の組成均一性

〇(M2)小谷 昌大¹、沈 用球²、脇田 和樹¹ (1.千葉工大、2.大府大院工)

キーワード：PLD法、CZTS多結晶、固相反応法

本研究ではPLD (Pulse laser deposition)法によりSLG(Soda lime grass)基板上に高品質CZTS薄膜を成膜するために使用する高品質CZTS多結晶ターゲットの段階から研究を行い，まず初めに，薄膜の組成比率を最適組成比に制御するための固相反応法によるCZTS多結晶の作製と評価を行った。その後，作製したCZTS多結晶を用いて、PLD法によるCZTS薄膜の作製と評価を行った。