[14p-P21-1~27] 13.10 化合物太陽電池

[14p-P21-16] オールレーザースクライブによるCIGS薄膜太陽電池の作製

〇奈良崎 愛子¹、佐藤 正健¹、新納 弘之¹、高田 英行¹、鳥塚 健二¹、西永 慈郎¹、上川 由紀子¹、石塚 尚吾¹、柴田 肇¹、仁木 栄¹ (1.産総研)

キーワード：CIGS薄膜太陽電池、レーザースクライブ

CIGS太陽電池モジュールでは集積構造が用いられ、レーザースクライビング（LS）、メカニカルによるP1-P3集積化工程を導入している。我々は、オールLS技術導入による生産性向上並びにデッドエリア低減を目指し、レーザー加工時の熱ダメージを低減・回復する技術開発に取り組んでいる。今回、上部電極剥離P3工程を含むオールLSによりサブモジュールを作製、ポストアニールで効率低下抑制に成功したので報告する。